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harrychen8112金虫 (正式写手)
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【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？
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【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？【已搜无重复】 物理沉积薄膜为一薄合金层，如何测量沉积在衬底上的这层薄膜的厚度？ 本人曾尝试用重量增量的方法来测，但效果不好，精度也不高。不知有哪位有经验虫虫能指教指教 ，最好能给点方法和具体仪器。兼顾可操作性和一定的精度 是最好的。{板条状试样，薄膜的厚度精确到0.01微米比较合适。} [ Last edited by harrychen8112 on 2009-6-21 at 00:53 ] |
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