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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？
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harrychen8112

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？

【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？【已搜无重复】
物理沉积薄膜为一薄合金层，如何测量沉积在衬底上的这层薄膜的厚度？
本人曾尝试用重量增量的方法来测，但效果不好，精度也不高。不知有哪位有经验虫虫能指教指教  ，最好能给点方法和具体仪器。兼顾可操作性和一定的精度  是最好的。{板条状试样，薄膜的厚度精确到0.01微米比较合适。}

[ Last edited by harrychen8112 on 2009-6-21 at 00:53 ]
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1楼 2009-06-21 00:49:07
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coating8397

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
要精确到10nm，sem还是别用了，除非你是场发射的SEM。
原子力对于太高的台阶也是无法胜任的。
椭偏仪好像只能测光学透明膜。
XRR需要薄膜非常平整，而且厚度不能太大。
如果能再做样品，建议做个台阶，然后用台阶仪观察厚度。如果不能再做样品，只能做成界面的，用SEM或TEM观测！
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7楼2009-06-22 09:37:42
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普通回帖

lss1073

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
洛阳学子(金币+2,VIP+0):多谢 6-21 02:17
本帖内容被屏蔽
2楼2009-06-21 00:54:38
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whzg

木虫 (知名作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
最常用的是以台阶仪测量，也可以用AFM测量，还可以用SEM测样品的断面也可以得到。这些效果都不错。
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3楼2009-06-21 08:11:58
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gold1987

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
台阶仪好  AFM太精细了
你镀膜前用小块胶带粘住衬底   然后镀完后撕掉胶带
用台阶仪测就行了
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4楼2009-06-21 08:36:55
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fxm346

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
条件允许的话用SEM测量就行了
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5楼2009-06-21 11:07:17
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
好像还有一种用XRR的方法，就是X射线的小角衍射
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6楼2009-06-21 11:46:47
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Hansen3110

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我刚看了这方面的一些文献，可用AFM，也可用XRD的小角闪射
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8楼2009-06-22 11:06:41
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wangzuo316

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用台阶仪，也可用X射线荧光膜厚仪，还可进行元素分析。
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9楼2009-07-15 21:43:08
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qzhang6568

木虫 (著名写手)
很多办法，SEM，TEM以及光学反射法等等
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10楼2009-07-15 21:58:04
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