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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】如何测试物理沉积（PVD）薄膜的膜厚？
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IDjjww

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
做台阶测试可以的吧
我们实验室测薄膜厚度经常用SEM看断面的方法，好像可以精确到0.01微米
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11楼2009-07-16 08:49:23
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jerryliu

银虫 (小有名气)
一般用台阶仪（就是做台阶比较麻烦），而是AFM(价格高）。还有椭偏仪（要自己调节折色率），还有SEM，就是麻烦还有其它方法
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12楼2009-08-06 16:30:25
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cjw796

金虫 (小有名气)
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Profilometer is the best solution
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13楼2009-08-06 23:57:57
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bryano

木虫 (正式写手)
SEM很方便。
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14楼2009-08-07 01:21:41
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