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mootoo

铜虫 (小有名气)

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[交流] 做完电子束光刻ebl怎么表征光刻胶效果… 已有4人参与

可以用sem直接看么？电子束光刻胶对电子束非常敏感，会不会直接打坏啊？如果不能用sem扫的话，那怎么看ebl做的效果怎么样呢。

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1楼 2019-12-06 13:09:55

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百无二用

新虫 (小有名气)

AFM

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4楼2019-12-12 22:19:44

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mootoo

铜虫 (小有名气)

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2楼2019-12-08 22:36:15

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babyoflion

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

我觉得可以，电子束胶也就是PMMA胶，你都显影过了，电压慢慢调

3楼2019-12-09 12:28:21

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mootoo

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引用回帖:

4楼: Originally posted by 百无二用 at 2019-12-12 22:19:44
AFM

afm不行吧，先不说小图形区域能不能扫下去，afm表征侧壁角度也不太可能

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5楼2019-12-13 13:29:18

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