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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 做完电子束光刻ebl怎么表征光刻胶效果…
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mootoo

铜虫 (小有名气)

[交流] 做完电子束光刻ebl怎么表征光刻胶效果… 已有4人参与

可以用sem直接看么？电子束光刻胶对电子束非常敏感，会不会直接打坏啊？如果不能用sem扫的话，那怎么看ebl做的效果怎么样呢。

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1楼 2019-12-06 13:09:55
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mootoo

铜虫 (小有名气)


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2楼2019-12-08 22:36:15
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
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我觉得可以，电子束胶也就是PMMA胶，你都显影过了，电压慢慢调
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3楼2019-12-09 12:28:21
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百无二用

新虫 (小有名气)
AFM

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4楼2019-12-12 22:19:44
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mootoo

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 百无二用 at 2019-12-12 22:19:44
AFM

afm不行吧，先不说小图形区域能不能扫下去，afm表征侧壁角度也不太可能

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5楼2019-12-13 13:29:18
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aaaran

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以用电镜，拍样品截面，能看到

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6楼2019-12-13 14:42:50
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百无二用

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by mootoo at 2019-12-13 13:29:18
afm不行吧，先不说小图形区域能不能扫下去，afm表征侧壁角度也不太可能
...

侧壁角度确实没法表征。但是简单看一下形貌还是没问题的，小图形照样能下针

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7楼2019-12-13 16:35:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
如果你能找到专业的CD sem，那么可以直接看，对光刻胶损伤很小。如果找不到，那么普通的高分辨率电镜要喷金以后看，所以只能看陪片的形貌。
楼上答的都是啥乱七八糟的……
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8楼2019-12-21 17:57:16
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