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mootoo

铜虫 (小有名气)


[交流] 做完电子束光刻ebl怎么表征光刻胶效果… 已有4人参与

可以用sem直接看么?电子束光刻胶对电子束非常敏感,会不会直接打坏啊?如果不能用sem扫的话,那怎么看ebl做的效果怎么样呢。

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babyoflion

金虫 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觉得可以,电子束胶也就是PMMA胶,你都显影过了,电压慢慢调
3楼2019-12-09 12:28:21
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查看全部 8 个回答

mootoo

铜虫 (小有名气)

2楼2019-12-08 22:36:15
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百无二用

新虫 (小有名气)

4楼2019-12-12 22:19:44
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mootoo

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
4楼: Originally posted by 百无二用 at 2019-12-12 22:19:44
AFM

afm不行吧,先不说小图形区域能不能扫下去,afm表征侧壁角度也不太可能

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5楼2019-12-13 13:29:18
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