| 查看: 1375 | 回复: 7 | |||
mootoo
|
[交流]
做完电子束光刻ebl怎么表征光刻胶效果… 已有4人参与
|
|
可以用sem直接看么？电子束光刻胶对电子束非常敏感，会不会直接打坏啊？如果不能用sem扫的话，那怎么看ebl做的效果怎么样呢。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼
2楼2019-12-08 22:36:15
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4736.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2499
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2019-12-09 12:28:21
|
AFM 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2019-12-12 22:19:44
mootoo 
铜虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 172.6
- 散金: 40
- 帖子: 108
- 在线: 36小时
- 虫号: 15844679
- 注册: 2019-08-05
- 专业: 光学和光电子材料
5楼2019-12-13 13:29:18
aaaran
新虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 5434.5
- 红花: 1
- 帖子: 2315
- 在线: 28小时
- 虫号: 13111455
- 注册: 2018-12-10
- 专业: 光学信息获取与处理
6楼2019-12-13 14:42:50
7楼2019-12-13 16:35:55
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
8楼2019-12-21 17:57:16