| 查看: 1600 | 回复: 7 | ||
[求助]
请问哪里可以加工孔径1um以下掩模版或光刻板？用于超分辨成像 已有2人参与
|
|
课题组在做一个超分辨荧光成像的项目，需要加工小于1um的简单图形（如圆孔，直线，字母）。 本打算直接按照图形设计掩模版，但问了几家最小特征尺寸都在1~2um。 学校实验室人员不熟练EBL，刻画出来的图形周围有很多孔洞，不满足我们的实验要求。 求问有什么办法能直接加工图形在0.5um左右的掩模版？ 谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有173人回复
13813921817
木虫之王 (文坛精英)
上善若水，利万物而不争
- 应助: 8572 (教授)
- 金币: 59415
- 散金: 352
- 红花: 500
- 帖子: 11438
- 在线: 1134.8小时
- 虫号: 3562708
- 注册: 2014-11-27
- 性别: GG
- 专业: 高分子助剂
2楼2019-12-03 15:36:37
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2019-12-03 19:06:30
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
4楼2019-12-03 19:07:05
5楼2019-12-04 11:10:44
6楼2019-12-04 11:12:40
13813921817
木虫之王 (文坛精英)
上善若水，利万物而不争
- 应助: 8572 (教授)
- 金币: 59415
- 散金: 352
- 红花: 500
- 帖子: 11438
- 在线: 1134.8小时
- 虫号: 3562708
- 注册: 2014-11-27
- 性别: GG
- 专业: 高分子助剂
7楼2019-12-04 15:16:33
Tmfds
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 242.9
- 散金: 207
- 帖子: 401
- 在线: 67.9小时
- 虫号: 22828123
- 注册: 2020-06-12
- 性别: GG
- 专业: 力学中的基本问题和方法
8楼2022-08-12 11:10:50
20