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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问哪里可以加工孔径1um以下掩模版或光刻板？用于超分辨成像
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hustercai

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪里可以加工孔径1um以下掩模版或光刻板？用于超分辨成像 已有2人参与

课题组在做一个超分辨荧光成像的项目，需要加工小于1um的简单图形（如圆孔，直线，字母）。
本打算直接按照图形设计掩模版，但问了几家最小特征尺寸都在1~2um。
学校实验室人员不熟练EBL，刻画出来的图形周围有很多孔洞，不满足我们的实验要求。

求问有什么办法能直接加工图形在0.5um左右的掩模版？  谢谢！
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1楼 2019-12-03 10:38:43
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
为何不考虑stepper曝光呢？1u以内的光刻版太贵了，同时就算是光刻版做出来了，你曝光设备也不一定能够达到这个分辨率吧
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3楼2019-12-03 19:06:30
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这么小的尺寸用激光切割比较好了。大一些的刻-章都有激光切割
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2楼2019-12-03 15:36:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

听您的意思是您那有EBL 这么好的设备 为何不好好优化下呢
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4楼2019-12-03 19:07:05
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hustercai

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13813921817 at 2019-12-03 15:36:37
这么小的尺寸用激光切割比较好了。大一些的刻-章都有激光切割

不好意思，你可能看错了，不是1毫米，是1微米以下。
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5楼2019-12-04 11:10:44
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