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hustercai

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪里可以加工孔径1um以下掩模版或光刻板?用于超分辨成像 已有2人参与

课题组在做一个超分辨荧光成像的项目,需要加工小于1um的简单图形(如圆孔,直线,字母)。
本打算直接按照图形设计掩模版,但问了几家最小特征尺寸都在1~2um。
学校实验室人员不熟练EBL,刻画出来的图形周围有很多孔洞,不满足我们的实验要求。

求问有什么办法能直接加工图形在0.5um左右的掩模版?  谢谢!
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Tmfds

新虫 (正式写手)

你做超分辨的,直接买个分辨率版不行么?

发自小木虫IOS客户端
8楼2022-08-12 11:10:50
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查看全部 8 个回答

13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这么小的尺寸用激光切割比较好了。大一些的刻-章都有激光切割
2楼2019-12-03 15:36:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
为何不考虑stepper曝光呢?1u以内的光刻版太贵了,同时就算是光刻版做出来了,你曝光设备也不一定能够达到这个分辨率吧
3楼2019-12-03 19:06:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

听您的意思是您那有EBL 这么好的设备 为何不好好优化下呢
4楼2019-12-03 19:07:05
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