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请问哪里可以加工孔径1um以下掩模版或光刻板？用于超分辨成像 已有2人参与
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课题组在做一个超分辨荧光成像的项目，需要加工小于1um的简单图形（如圆孔，直线，字母）。 本打算直接按照图形设计掩模版，但问了几家最小特征尺寸都在1~2um。 学校实验室人员不熟练EBL，刻画出来的图形周围有很多孔洞，不满足我们的实验要求。 求问有什么办法能直接加工图形在0.5um左右的掩模版？ 谢谢！ |
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7楼2019-12-04 15:16:33
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