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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 射频溅射镀膜机溅射半导体材料
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学化学真好

新虫 (正式写手)
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射频溅射镀膜机溅射半导体材料
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请教一下各位大神，溅射半导体材料需要用到多大的射频溅射功率啊？或者说射频溅射功率是影响的什么因素啊？
谢谢！！！

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1楼 2019-10-23 11:18:12
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pipy

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
功率主要影响溅射速率，或者说镀膜沉积速率，不同机器差别不小，需要你自己定标一下，不难做的。

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28楼2019-10-23 12:15:14
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pipy25楼
2019-10-23 12:13   回复  
学化学真好(金币+1): 谢谢参与
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