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学化学真好

新虫 (正式写手)


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射频溅射镀膜机溅射半导体材料
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请教一下各位大神,溅射半导体材料需要用到多大的射频溅射功率啊?或者说射频溅射功率是影响的什么因素啊?
谢谢!!!

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pipy

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功率主要影响溅射速率,或者说镀膜沉积速率,不同机器差别不小,需要你自己定标一下,不难做的。

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28楼2019-10-23 12:15:14
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bobo201266

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
主要看做什么材料,有些材料功率低,沉积效率就比较差
33楼2019-10-28 11:28:18
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学化学真好

新虫 (正式写手)


引用回帖:
33楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-10-28 11:28:18
主要看做什么材料,有些材料功率低,沉积效率就比较差

谢谢解答~

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34楼2019-10-29 00:16:13
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2019-10-23 11:18   回复  
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84630773楼
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Pau Gasol5楼
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HFMH7楼
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tfxrk8楼
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tzynew10楼
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曌龙龙12楼
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long_liu9314楼
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41823628515楼
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bodygb16楼
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materyang19楼
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chenzg12321楼
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xxdzwy22楼
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pipy25楼
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zouqin200030楼
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dlli201432楼
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