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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 射频溅射镀膜机溅射半导体材料
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学化学真好

新虫 (正式写手)
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射频溅射镀膜机溅射半导体材料
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请教一下各位大神，溅射半导体材料需要用到多大的射频溅射功率啊？或者说射频溅射功率是影响的什么因素啊？
谢谢！！！

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1楼 2019-10-23 11:18:12
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pipy

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功率主要影响溅射速率，或者说镀膜沉积速率，不同机器差别不小，需要你自己定标一下，不难做的。

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28楼2019-10-23 12:15:14
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
主要看做什么材料，有些材料功率低，沉积效率就比较差
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33楼2019-10-28 11:28:18
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学化学真好

新虫 (正式写手)
引用回帖:
33楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-10-28 11:28:18
主要看做什么材料，有些材料功率低，沉积效率就比较差

谢谢解答～

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34楼2019-10-29 00:16:13
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hdchina20102楼
2019-10-23 11:18   回复  
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84630773楼
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183280865984楼
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Pau Gasol5楼
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HFMH7楼
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tfxrk8楼
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liuyali12359楼
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tzynew10楼
2019-10-23 11:25   回复  
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米兰的小铁酱11楼
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曌龙龙12楼
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铁首星空13楼
2019-10-23 11:35   回复  
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long_liu9314楼
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bodygb16楼
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lupengchem18楼
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materyang19楼
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aplombchang20楼
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chenzg12321楼
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xxdzwy22楼
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xspring080823楼
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?星随我动?24楼
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pipy25楼
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e测试张26楼
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softerror27楼
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Mr hua29楼
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zouqin200030楼
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gaohe110831楼
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dlli201432楼
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