24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 575  |  回复: 6
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

armyun

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器?

想进行惯性MEMS器件的失效分析,目前想添置一台分析仪器,用什么仪器好呢?
只需要进行初步的分析,经费不是很多,30万以内的仪器都可以。
扫描电镜好像太贵了,光学显微镜够用了吗?

请各位虫友多多指点!最好能够提供具体可操作的信息!谢谢!

[ Last edited by armyun on 2009-6-5 at 21:12 ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuruicxz

铜虫 (正式写手)

armyun(金币+3): 2010-03-01 20:22
扫描电镜只能做一些结构方面的观测,或者是测一些能谱成分分析,并且失效分析有很多,估计你的MEMS惯性器件是加速度计之类的,是不是想要做一些惯性分析,可以做冲击试验,这有专门的落锤试验机,你可以到机械或机电方面的学院去了解一下。
水本无愁因风皱面,山原不老为雪白头
5楼2010-02-28 13:49:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
惯性MEMS器件失效分析?这个说法有些笼统。由于涉及面较多,机械、电学、热学、辐照等等,一般分析还是应针对器件应用的可靠性,大体包括机械冲击,振动,高低温冲击,温循、潮湿等等。如果不是破坏性检测,一般电测试就可以了,主要是对比一下测试前后的关键参数变化。如果是破坏性试验检测,比如高机械冲击、击穿、粘附等等,分析手段单靠最后阶段的图像分析就远不够了。30万的经费,买设备也许能满足单项或很少的分析需求,但要做细致分析,30万倒是够几次的实验测试费用了,建议还是多联系些测试单位吧。
3楼2009-11-05 02:59:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

infsup

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★ ★
armyun(金币+5,VIP+0):谢谢,有所收获 1-2 22:58
惯性MEMS器件??
加速度计还是陀螺?
加速度计有振梁式,压阻式,电容式,隧道式,...
以电容式为例,又有梳齿式,三明治式,扭摆式...
陀螺就更复杂了,原来大陀螺就有各种悬浮的,角位置和角速率都大不一样,微陀螺从原来不同原理过来,结构型式千差万别,
你希望就30万解决所有MEMS惯性器件的失效分析问题,还不如老老实实脚踏实地一步步,一点点地来...
4楼2009-12-18 16:04:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Ptfe

armyun(金币+2):谢谢 2010-03-01 20:22
我们半导体行业分析不会是一件仪器的,而是一个实验室(失效分析实验室)综合评定的,你的想法太简单啦
6楼2010-03-01 00:13:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 339求调剂 +3 zjjkt 2026-03-31 3/150 2026-03-31 20:34 by 83503孙老师
[考研] 考研调剂 +9 小蜡新笔 2026-03-29 10/500 2026-03-31 19:52 by Dyhoer
[考研] 070300化学专业279调剂 +9 哈哈哈^_^ 2026-03-31 9/450 2026-03-31 18:49 by jp9609
[考研] 299求调剂 +8 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 8/400 2026-03-31 18:23 by lizhi8172
[考研] 308求调剂 +11 墨墨漠 2026-03-25 11/550 2026-03-31 17:54 by 无际的草原
[考研] 322求调剂:一志愿湖南大学 材料与化工(085600),已过六级。 +10 XX小邓 2026-03-29 10/500 2026-03-31 16:46 by 不吃魚的貓
[基金申请] 面上5B能上会吗? +8 redcom 2026-03-29 8/400 2026-03-31 15:53 by niuailing
[考研] 353求调剂 +3 江上枫_26 2026-03-28 3/150 2026-03-31 15:53 by jp9609
[考研] 一志愿西电085401数一英一299求调剂 六级521 +4 爱吃大鸭梨 2026-03-31 4/200 2026-03-31 11:51 by 搏击518
[考研] 总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂 +6 星沉uu 2026-03-26 7/350 2026-03-31 10:19 by GdShizy
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +5 这是有太阳哇 2026-03-25 5/250 2026-03-31 09:59 by luoyongfeng
[考研] 324求调剂 +9 hanamiko 2026-03-26 11/550 2026-03-30 14:27 by JourneyLucky
[考研] 296求调剂 +10 彼岸t 2026-03-29 10/500 2026-03-30 10:50 by 探123
[考研] 348求调剂 +6 小懒虫不懒了 2026-03-28 6/300 2026-03-30 10:29 by Evan_Liu
[考研] 298求调剂 +3 种圣赐 2026-03-29 3/150 2026-03-29 12:06 by longlotian
[考研] 332求92调剂 +8 蕉蕉123 2026-03-28 8/400 2026-03-29 10:46 by 周梓丹
[考研] 330一志愿中国海洋大学 化学工程 085602 有读博意愿 求调剂 +3 wywy.. 2026-03-27 4/200 2026-03-28 03:32 by fmesaito
[考研] 272求调剂 +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-27 17:23 by laoshidan
[考研] 341求调剂 +7 青柠檬1 2026-03-26 7/350 2026-03-27 00:19 by wxiongid
[考研] 一志愿天津大学339材料与化工求调剂 +3 江往卖鱼 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:42 by 王小欠i
信息提示
请填处理意见