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[交流]
【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器？
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想进行惯性MEMS器件的失效分析，目前想添置一台分析仪器，用什么仪器好呢？ 只需要进行初步的分析，经费不是很多，30万以内的仪器都可以。 扫描电镜好像太贵了，光学显微镜够用了吗？ 请各位虫友多多指点！最好能够提供具体可操作的信息！谢谢！ [ Last edited by armyun on 2009-6-5 at 21:12 ] |
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6楼2010-03-01 00:13:05