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【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器？
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想进行惯性MEMS器件的失效分析，目前想添置一台分析仪器，用什么仪器好呢？ 只需要进行初步的分析，经费不是很多，30万以内的仪器都可以。 扫描电镜好像太贵了，光学显微镜够用了吗？ 请各位虫友多多指点！最好能够提供具体可操作的信息！谢谢！ [ Last edited by armyun on 2009-6-5 at 21:12 ] |
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6楼2010-03-01 00:13:05
damuchongzi
铁杆木虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
| 惯性MEMS器件失效分析？这个说法有些笼统。由于涉及面较多，机械、电学、热学、辐照等等，一般分析还是应针对器件应用的可靠性，大体包括机械冲击，振动，高低温冲击，温循、潮湿等等。如果不是破坏性检测，一般电测试就可以了，主要是对比一下测试前后的关键参数变化。如果是破坏性试验检测，比如高机械冲击、击穿、粘附等等，分析手段单靠最后阶段的图像分析就远不够了。30万的经费，买设备也许能满足单项或很少的分析需求，但要做细致分析，30万倒是够几次的实验测试费用了，建议还是多联系些测试单位吧。 |
3楼2009-11-05 02:59:57
4楼2009-12-18 16:04:22
5楼2010-02-28 13:49:34
