| 查看: 571 | 回复: 6 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器？
|
|||
|
想进行惯性MEMS器件的失效分析，目前想添置一台分析仪器，用什么仪器好呢？ 只需要进行初步的分析，经费不是很多，30万以内的仪器都可以。 扫描电镜好像太贵了，光学显微镜够用了吗？ 请各位虫友多多指点！最好能够提供具体可操作的信息！谢谢！ [ Last edited by armyun on 2009-6-5 at 21:12 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有205人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
2楼2009-06-06 14:48:27
damuchongzi
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 13873.7
- 帖子: 81
- 在线: 97.6小时
- 虫号: 254358
- 注册: 2006-05-27
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
| 惯性MEMS器件失效分析？这个说法有些笼统。由于涉及面较多，机械、电学、热学、辐照等等，一般分析还是应针对器件应用的可靠性，大体包括机械冲击，振动，高低温冲击，温循、潮湿等等。如果不是破坏性检测，一般电测试就可以了，主要是对比一下测试前后的关键参数变化。如果是破坏性试验检测，比如高机械冲击、击穿、粘附等等，分析手段单靠最后阶段的图像分析就远不够了。30万的经费，买设备也许能满足单项或很少的分析需求，但要做细致分析，30万倒是够几次的实验测试费用了，建议还是多联系些测试单位吧。 |
3楼2009-11-05 02:59:57
4楼2009-12-18 16:04:22
5楼2010-02-28 13:49:34
6楼2010-03-01 00:13:05
7楼2010-03-22 11:45:54
130