应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器？
71/1返回列表
查看: 672  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

armyun

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】惯性MEMS器件的失效分析用什么仪器？

想进行惯性MEMS器件的失效分析，目前想添置一台分析仪器，用什么仪器好呢？
只需要进行初步的分析，经费不是很多，30万以内的仪器都可以。
扫描电镜好像太贵了，光学显微镜够用了吗？

请各位虫友多多指点！最好能够提供具体可操作的信息！谢谢！

[ Last edited by armyun on 2009-6-5 at 21:12 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-06-05 20:50:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

armyun

木虫 (小有名气)
自己顶一下
回复此楼
2楼2009-06-06 14:48:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
armyun(金币+10,VIP+0):谢谢,有所收获 11-6 22:13
惯性MEMS器件失效分析？这个说法有些笼统。由于涉及面较多，机械、电学、热学、辐照等等，一般分析还是应针对器件应用的可靠性，大体包括机械冲击，振动，高低温冲击，温循、潮湿等等。如果不是破坏性检测，一般电测试就可以了，主要是对比一下测试前后的关键参数变化。如果是破坏性试验检测，比如高机械冲击、击穿、粘附等等，分析手段单靠最后阶段的图像分析就远不够了。30万的经费，买设备也许能满足单项或很少的分析需求，但要做细致分析，30万倒是够几次的实验测试费用了，建议还是多联系些测试单位吧。
赞一下(4人) 回复此楼
3楼2009-11-05 02:59:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

infsup

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
armyun(金币+5,VIP+0):谢谢,有所收获 1-2 22:58
惯性MEMS器件？？
加速度计还是陀螺？
加速度计有振梁式，压阻式，电容式，隧道式,...
以电容式为例，又有梳齿式，三明治式，扭摆式...
陀螺就更复杂了，原来大陀螺就有各种悬浮的，角位置和角速率都大不一样，微陀螺从原来不同原理过来，结构型式千差万别，
你希望就30万解决所有MEMS惯性器件的失效分析问题，还不如老老实实脚踏实地一步步，一点点地来...
赞一下(3人) 回复此楼
4楼2009-12-18 16:04:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuruicxz

铜虫 (正式写手)
armyun(金币+3): 2010-03-01 20:22
扫描电镜只能做一些结构方面的观测，或者是测一些能谱成分分析，并且失效分析有很多，估计你的MEMS惯性器件是加速度计之类的，是不是想要做一些惯性分析，可以做冲击试验，这有专门的落锤试验机，你可以到机械或机电方面的学院去了解一下。
赞一下 回复此楼
水本无愁因风皱面，山原不老为雪白头
5楼2010-02-28 13:49:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Ptfe

armyun(金币+2):谢谢 2010-03-01 20:22
我们半导体行业分析不会是一件仪器的，而是一个实验室（失效分析实验室）综合评定的，你的想法太简单啦
赞一下 回复此楼
6楼2010-03-01 00:13:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuedx

加速度传感器的失效分析

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们实验室刚买的一台冲击台，主要用来做加速度传感器的失效分析～～～
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2010-03-22 11:45:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 快乐不限量 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 9/450 2026-08-01 15:50 by y4XuShGyllvT
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 6/300 2026-08-01 15:46 by y4XuShGyllvT
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 11/550 2026-08-01 15:43 by y4XuShGyllvT
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 11/550 2026-08-01 15:43 by y4XuShGyllvT
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 8/400 2026-08-01 15:42 by y4XuShGyllvT
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jzg3xk1po8 2026-07-31 11/550 2026-08-01 15:40 by y4XuShGyllvT
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +16 低垂的野花 2026-07-31 21/1050 2026-08-01 15:35 by jklily
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +15 布布和一二 2026-07-30 19/950 2026-08-01 15:18 by 40862026
[基金申请] 微信指数没变化，科研之友没阅读 +14 wangze12014 2026-07-28 18/900 2026-07-31 18:35 by lzchaihuo
[基金申请] 系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了 +11 winnerche 2026-07-29 15/750 2026-07-30 23:08 by jnhyjjm
[考博] 申请2027年材料/化学类博士 10+3 考研老狗? 2026-07-25 5/250 2026-07-30 19:33 by 白色木鱼
[基金申请] 你们的时间戳变了吗 +3 archvillain 2026-07-30 4/200 2026-07-30 18:53 by levinzhwen
[基金申请] 今年的WR进展到哪一步了？ +5 wsgjhwz 2026-07-25 9/450 2026-07-30 12:59 by 可淡不可忘
[有机交流] 产物和副产物价值比较 30+4 小汤02 2026-07-27 5/250 2026-07-30 12:44 by czyzsu
[基金申请] 时间戳他又来了 +14 晓晓爱翠翠 2026-07-26 17/850 2026-07-29 16:30 by 呵呵二哥
[有机交流] 这个自发加氧反应的机理是什么？ 50+4 YUAN2273 2026-07-25 7/350 2026-07-29 12:27 by xiaobenpu
[基金申请] 这种情况还有戏吗 +5 drbart 2026-07-27 11/550 2026-07-29 05:50 by drbart
[基金申请] 同事接到电话了，我却没有 +4 1234567wang 2026-07-27 4/200 2026-07-28 10:11 by GOODLUCKER
[基金申请] 准备明年的基金了 +5 Tide man 2026-07-27 5/250 2026-07-28 09:25 by newfuzzy1
[分析] 水蒸气蒸馏法乳化现象 +3 月光娇娇 2026-07-26 3/150 2026-07-26 23:25 by caiyun
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭