应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻的临近效应
51/1返回列表
查看: 1102  |  回复: 8
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)

[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应，改变曝光剂量，曝光时间，已经改变胶型号，都可以减小效应，改变图形形状曝光是最好的方法，对于改变图形形状有什么规律么？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼2019-07-25 17:04:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

谢谢~
回复此楼
9楼2019-07-29 16:24:48
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

bobo201266

金虫 (正式写手)
★
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-25 19:17:04
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

谢谢~~
回复此楼
5楼2019-07-26 14:13:37
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭