24小时热门版块排行榜    

查看: 1140  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应,改变曝光剂量,曝光时间,已经改变胶型号,都可以减小效应,改变图形形状曝光是最好的方法,对于改变图形形状有什么规律么?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~
9楼2019-07-29 16:24:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

bobo201266

金虫 (正式写手)



原位代加工(金币+1): 谢谢参与
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端
2楼2019-07-25 19:17:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~~
5楼2019-07-26 14:13:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 304分材料专硕求调剂 +9 qiuzhigril 2026-03-03 12/600 2026-03-04 22:56 by wutongshun
[考研] 求调剂 +7 博斯特525 2026-03-04 7/350 2026-03-04 18:09 by houyaoxu
[考研] 085701环境工程 求调剂 +6 xiiiia 2026-03-04 6/300 2026-03-04 16:45 by yuningshan
[论文投稿] 主编终审卡者不动 100+3 Stray2021 2026-03-03 3/150 2026-03-04 15:15 by babero
[考研] 347求调剂 +5 啊欧欧欧 2026-03-03 5/250 2026-03-04 14:10 by kakakapanpan
[考研] 085601 材料305分求助 +4 泡泡邮件 2026-03-03 6/300 2026-03-04 13:00 by 无际的草原
[考研] 一志愿西工大材料学,英一数二总分321分,求调剂。 +3 zz05zz 2026-03-02 5/250 2026-03-04 09:16 by lbsjt
[考研] 0703化学 学硕 理工科均可 不区分研究方向 总分279求调剂 +5 1一11 2026-03-03 5/250 2026-03-03 23:14 by zhukairuo
[考研] 复试调剂 +4 杰尼龟aaa 2026-03-03 4/200 2026-03-03 23:06 by zhukairuo
[考研] 283求调剂 +9 鹿沫笙 2026-03-02 9/450 2026-03-03 15:58 by tgxtgxtgx9
[考研] 一志愿东北大学化学314分求调剂 +5 lr1212.. 2026-03-02 5/250 2026-03-03 15:26 by xingtian2025
[考研] 278求调剂 +3 满天星11_22 2026-03-02 3/150 2026-03-03 13:51 by Iveryant
[考研] 299求调剂 +5 kkcoco25 2026-03-02 9/450 2026-03-03 12:55 by 公瑾逍遥
[考研] 材料工程求调剂 +3 1431251 2026-03-03 3/150 2026-03-03 11:58 by EBSD
[考研] 0856求调剂285 +11 吕仔龙 2026-02-28 11/550 2026-03-02 20:15 by hypershenger
[考研] 一志愿东北大学材料专硕328,求调剂 +3 shs1083 2026-03-02 3/150 2026-03-02 17:27 by houyaoxu
[考研] 281求调剂 +5 2026计算机_诚心 2026-03-01 8/400 2026-03-02 11:05 by 汪!?!
[考研] 材料类求调剂 +11 wana_kiko 2026-02-28 14/700 2026-03-02 08:46 by 聪明的大松鼠
[考研] 279求调剂 +3 dua1 2026-03-01 4/200 2026-03-02 00:23 by 大脸蛋子
[硕博家园] 博士自荐 +7 科研狗111 2026-02-26 11/550 2026-03-01 22:24 by 哲平L
信息提示
请填处理意见