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新虫 (小有名气)

[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应，改变曝光剂量，曝光时间，已经改变胶型号，都可以减小效应，改变图形形状曝光是最好的方法，对于改变图形形状有什么规律么？

1楼 2019-07-25 17:04:16

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新虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

谢谢~

9楼2019-07-29 16:24:48

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金虫 (正式写手)

★
原位代加工(金币+1): 谢谢参与

只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端

2楼2019-07-25 19:17:04

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新虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊，加OPC结构改善。MEMS的话，应该还是别的因素影响。

谢谢~~

5楼2019-07-26 14:13:37

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