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原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应,改变曝光剂量,曝光时间,已经改变胶型号,都可以减小效应,改变图形形状曝光是最好的方法,对于改变图形形状有什么规律么?
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bobo201266

金虫 (正式写手)



原位代加工(金币+1): 谢谢参与
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端
2楼2019-07-25 19:17:04
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原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~~
5楼2019-07-26 14:13:37
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原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~
9楼2019-07-29 16:24:48
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nono20093楼
2019-07-25 21:09   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
`
muzi01044楼
2019-07-26 08:02   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
111
youngen6楼
2019-07-27 11:19   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
youngen7楼
2019-07-27 11:20   回复  
2019-07-29 08:50   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
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