24小时热门版块排行榜    

查看: 1164  |  回复: 8

原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应,改变曝光剂量,曝光时间,已经改变胶型号,都可以减小效应,改变图形形状曝光是最好的方法,对于改变图形形状有什么规律么?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)



原位代加工(金币+1): 谢谢参与
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端
2楼2019-07-25 19:17:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~~
5楼2019-07-26 14:13:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~
9楼2019-07-29 16:24:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
nono20093楼
2019-07-25 21:09   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
`
muzi01044楼
2019-07-26 08:02   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
111
youngen6楼
2019-07-27 11:19   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
youngen7楼
2019-07-27 11:20   回复  
2019-07-29 08:50   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员LNFMTy 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 11/550 2026-03-20 11:05 by lidianxing
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分,一志愿四川大学,诚心求调剂 +6 吃吃吃才有意义 2026-03-19 6/300 2026-03-20 10:47 by 尽舜尧1
[考研] 298-一志愿中国农业大学-求调剂 +8 手机用户 2026-03-17 8/400 2026-03-20 09:32 by 陆伶越
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +9 一鸭鸭哟 2026-03-14 11/550 2026-03-19 17:22 by !本暗一次!
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂 +5 枫桥ZL 2026-03-18 7/350 2026-03-19 14:52 by 功夫疯狂
[考研] 化学求调剂 +3 临泽境llllll 2026-03-17 4/200 2026-03-19 13:59 by houyaoxu
[考研] 一志愿天大材料与化工(085600)总分338 +5 蔡大美女 2026-03-13 5/250 2026-03-19 10:44 by 是小刘呀~
[考研] 本科郑州大学物理学院,一志愿华科070200学硕,346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 304求调剂 +6 司空. 2026-03-18 6/300 2026-03-18 23:03 by 星空星月
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 085601专硕,总分342求调剂,地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见