24小时热门版块排行榜    

查看: 1156  |  回复: 8

原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 光刻的临近效应

如何解决光刻临近效应,改变曝光剂量,曝光时间,已经改变胶型号,都可以减小效应,改变图形形状曝光是最好的方法,对于改变图形形状有什么规律么?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)



原位代加工(金币+1): 谢谢参与
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

发自小木虫Android客户端
2楼2019-07-25 19:17:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~~
5楼2019-07-26 14:13:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-07-25 19:17:04
只有尺寸很小才会有临近效应的影响啊,加OPC结构改善。MEMS的话,应该还是别的因素影响。

谢谢~
9楼2019-07-29 16:24:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
nono20093楼
2019-07-25 21:09   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
`
muzi01044楼
2019-07-26 08:02   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
111
youngen6楼
2019-07-27 11:19   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
youngen7楼
2019-07-27 11:20   回复  
2019-07-29 08:50   回复  
原位代加工(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员LNFMTy 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 欢迎申博同学联系 +3 天道酬勤2026686 2026-03-10 5/250 2026-03-14 23:19 by 17520222914
[考研] 268求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-14 6/300 2026-03-14 22:20 by 运气yunqi
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 复试调剂 +8 呼呼?~+123456 2026-03-08 11/550 2026-03-14 20:57 by 娄娄虫
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 0703化学求调剂,总分309分,一志愿华南师范 +4 花与叶@ 2026-03-08 4/200 2026-03-14 04:40 by JourneyLucky
[考研] 296求调剂 +5 Xinyu Wu311 2026-03-09 5/250 2026-03-14 03:05 by JourneyLucky
[考研] 求调剂,药学 +3 归零lbm 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:21 by JourneyLucky
[考研] 288求调剂 +14 王晓阳- 2026-03-09 19/950 2026-03-14 02:05 by JourneyLucky
[考研] 332分材料工程调剂 +3 莓好时光海苔 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:03 by JourneyLucky
[考研] 295复试调剂 +5 简木ChuFront 2026-03-09 5/250 2026-03-14 01:29 by JourneyLucky
[考研] 306求调剂 +4 唐薏薏 2026-03-09 4/200 2026-03-14 01:19 by JourneyLucky
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 0703,333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 294 英二数二物化 求调剂 +6 米饭团不好吃 2026-03-09 6/300 2026-03-09 23:55 by barlinike
信息提示
请填处理意见