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haorensunbo木虫 (正式写手)
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二维材料转移 已有1人参与
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| 单层二维材料转移一般用PMMA旋涂以后进行蚀刻转移，请问PMMA一般旋涂多厚呢？文献上面一般只提及旋涂转速和时间，最终的厚度不会提及，而所选试剂的浓度、溶剂甚至实验环境用的衬底状态，实验室状态都会有影响。 |
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haorensunbo: 金币+20, 请问您做这个吗？用的流程可否共享一下？包括旋涂参数、试剂、烘烤温度、HF处理浓度和时间、后烘烤时间、丙酮浸泡时间等。金币大大滴有 2019-08-27 10:30:14
haorensunbo: 金币+20, 请问您做这个吗？用的流程可否共享一下？包括旋涂参数、试剂、烘烤温度、HF处理浓度和时间、后烘烤时间、丙酮浸泡时间等。金币大大滴有 2019-08-27 10:30:14
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2楼2019-07-29 09:33:08
haorensunbo
木虫 (正式写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
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- 专业: 半导体材料
3楼2019-10-10 09:47:06
ljz3278163
新虫 (小有名气)
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4楼2019-10-12 17:21:22
5楼2019-10-23 09:55:16