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haorensunbo

木虫 (正式写手)

[求助] 二维材料转移 已有1人参与

单层二维材料转移一般用PMMA旋涂以后进行蚀刻转移,请问PMMA一般旋涂多厚呢?文献上面一般只提及旋涂转速和时间,最终的厚度不会提及,而所选试剂的浓度、溶剂甚至实验环境用的衬底状态,实验室状态都会有影响。
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好人孙博
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njujcc

禁虫 (小有名气)

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haorensunbo: 金币+20, 请问您做这个吗?用的流程可否共享一下?包括旋涂参数、试剂、烘烤温度、HF处理浓度和时间、后烘烤时间、丙酮浸泡时间等。金币大大滴有 2019-08-27 10:30:14
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2楼2019-07-29 09:33:08
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haorensunbo

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by njujcc at 2019-07-29 09:33:08
这个厚度不标的原因是不那么重要,又很难直接测量,所以大家都回避了。这里面能够确定的是第一浓度、第二转速、第三时间,这三个参数是好标定的,而且基本上这三个参数都确定了,再算上旋涂的层数,厚度其实也就确定 ...

现在还碰到一个问题,就是PMMA泡完丙酮以后,那个衬底在电镜Inlens模式下看还是很脏,可不可以提供一下你用来转移的详细制程呢?
好人孙博
3楼2019-10-10 09:47:06
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ljz3278163

新虫 (小有名气)

4楼2019-10-12 17:21:22
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smile:)

新虫 (初入文坛)

请问二维材料转移到衬底以后如何去除PMMA?

发自小木虫Android客户端
5楼2019-10-23 09:55:16
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