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haorensunbo

木虫 (正式写手)

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[求助] 二维材料转移已有1人参与

单层二维材料转移一般用PMMA旋涂以后进行蚀刻转移，请问PMMA一般旋涂多厚呢？文献上面一般只提及旋涂转速和时间，最终的厚度不会提及，而所选试剂的浓度、溶剂甚至实验环境用的衬底状态，实验室状态都会有影响。

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好人孙博

1楼 2019-07-21 10:36:15

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njujcc

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
haorensunbo: 金币+20, 请问您做这个吗？用的流程可否共享一下？包括旋涂参数、试剂、烘烤温度、HF处理浓度和时间、后烘烤时间、丙酮浸泡时间等。金币大大滴有 2019-08-27 10:30:14

本帖内容被屏蔽

2楼2019-07-29 09:33:08

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haorensunbo

木虫 (正式写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by njujcc at 2019-07-29 09:33:08
这个厚度不标的原因是不那么重要，又很难直接测量，所以大家都回避了。这里面能够确定的是第一浓度、第二转速、第三时间，这三个参数是好标定的，而且基本上这三个参数都确定了，再算上旋涂的层数，厚度其实也就确定 ...

现在还碰到一个问题，就是PMMA泡完丙酮以后，那个衬底在电镜Inlens模式下看还是很脏，可不可以提供一下你用来转移的详细制程呢？