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PI胶固化
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MEMS_er
新虫
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专业: 微/纳机械系统
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PI胶固化
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PI胶固化后,老是起很多气泡,有人知道是什么原因吗,涂胶没有什么问题的
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2019-07-02 09:34:52
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飞侠一号
新虫
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
光敏和非光敏的PI我都用过,固化都没有问题呢,你的PI有图形吗?气泡怎么分布的呢?
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6楼
2019-07-09 19:23:05
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13813921817
木虫之王
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【答案】应助回帖
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气泡一般是小分子水、助剂或产品降解产生的小分子。
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2楼
2019-07-02 13:03:24
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yswyx
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几种可能。
有可能是本身PI胶中有微泡,如果胶的粘度大,那么这种微泡存在的概率很大。
二是衬底本身不够干燥,但一般会导致直接脱落,以气泡形式存在的比较少见。也要看你的PI是亲水还是憎水的。
再就是旋涂工艺的问题,要看你用的什么设备和参数,有时候需要在低速摊开后稍微静置几十秒再高速转,能减少气泡。
还有,就是前面都非常顺利,只是最后固化的时候产生气泡,那就要考虑PI胶本身和衬底表面质量的问题了。
如果是研材微纳买的PI胶,可以直接找他们技术部门进行咨询。
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3楼
2019-07-02 13:29:12
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众志启成
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固化的工艺有问题
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4楼
2019-07-02 15:09:20
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