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MEMS_er

新虫 (初入文坛)

[求助] PI胶固化 已有5人参与

PI胶固化后,老是起很多气泡,有人知道是什么原因吗,涂胶没有什么问题的

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


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几种可能。
有可能是本身PI胶中有微泡,如果胶的粘度大,那么这种微泡存在的概率很大。
二是衬底本身不够干燥,但一般会导致直接脱落,以气泡形式存在的比较少见。也要看你的PI是亲水还是憎水的。
再就是旋涂工艺的问题,要看你用的什么设备和参数,有时候需要在低速摊开后稍微静置几十秒再高速转,能减少气泡。
还有,就是前面都非常顺利,只是最后固化的时候产生气泡,那就要考虑PI胶本身和衬底表面质量的问题了。
如果是研材微纳买的PI胶,可以直接找他们技术部门进行咨询。
3楼2019-07-02 13:29:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

一般来说,你的soft bake没有做好,溶剂挥发不充分,那么就意味着后面做高温固化的时候,未挥发的溶剂在PI内部形成气泡。
另外,PI是一种易吸潮的polymer,水汽在固化中的影响也要考虑。
PI的亚胺化过程还是要用烘箱,最好是真空烘箱。
9楼2019-07-16 15:05:21
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dahaoren

木虫 (著名写手)

干膜厚度多少? 一般会与VCD及温度曲线关系最大,可以调整VCD工艺更温和,Bake升温尽可能缓慢,或者分段完成
10楼2019-07-24 14:32:50
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普通回帖

13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

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气泡一般是小分子水、助剂或产品降解产生的小分子。
2楼2019-07-02 13:03:24
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众志启成

金虫 (正式写手)


4楼2019-07-02 15:09:20
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原位代加工

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
PI用烤箱固化,从上至下,先表层固化,表层固化完,胶内部的溶剂蒸发的气体出不去,就形成气泡。解决方法:建议用热板先固化。
5楼2019-07-04 13:49:22
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飞侠一号

新虫 (小有名气)

光敏和非光敏的PI我都用过,固化都没有问题呢,你的PI有图形吗?气泡怎么分布的呢?

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6楼2019-07-09 19:23:05
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bobo201266

金虫 (正式写手)

7楼2019-07-11 18:34:41
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

紫外固化的么,曝光不完全会在紫外固化过程中继续反应产生氮气,出现气泡
8楼2019-07-15 18:30:53
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