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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PI胶固化
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MEMS_er

新虫 (初入文坛)

[求助] PI胶固化 已有5人参与

PI胶固化后，老是起很多气泡，有人知道是什么原因吗，涂胶没有什么问题的

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1楼 2019-07-02 09:34:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

一般来说，你的soft bake没有做好，溶剂挥发不充分，那么就意味着后面做高温固化的时候，未挥发的溶剂在PI内部形成气泡。
另外，PI是一种易吸潮的polymer，水汽在固化中的影响也要考虑。
PI的亚胺化过程还是要用烘箱，最好是真空烘箱。
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9楼2019-07-16 15:05:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
几种可能。
有可能是本身PI胶中有微泡，如果胶的粘度大，那么这种微泡存在的概率很大。
二是衬底本身不够干燥，但一般会导致直接脱落，以气泡形式存在的比较少见。也要看你的PI是亲水还是憎水的。
再就是旋涂工艺的问题，要看你用的什么设备和参数，有时候需要在低速摊开后稍微静置几十秒再高速转，能减少气泡。
还有，就是前面都非常顺利，只是最后固化的时候产生气泡，那就要考虑PI胶本身和衬底表面质量的问题了。
如果是研材微纳买的PI胶，可以直接找他们技术部门进行咨询。
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3楼2019-07-02 13:29:12
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dahaoren

木虫 (著名写手)
干膜厚度多少？ 一般会与VCD及温度曲线关系最大，可以调整VCD工艺更温和，Bake升温尽可能缓慢，或者分段完成
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10楼2019-07-24 14:32:50
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普通回帖

13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气泡一般是小分子水、助剂或产品降解产生的小分子。
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2楼2019-07-02 13:03:24
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众志启成

金虫 (正式写手)
固化的工艺有问题

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4楼2019-07-02 15:09:20
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原位代加工

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PI用烤箱固化，从上至下，先表层固化，表层固化完，胶内部的溶剂蒸发的气体出不去，就形成气泡。解决方法：建议用热板先固化。
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5楼2019-07-04 13:49:22
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飞侠一号

新虫 (小有名气)
光敏和非光敏的PI我都用过，固化都没有问题呢，你的PI有图形吗？气泡怎么分布的呢？

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6楼2019-07-09 19:23:05
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bobo201266

金虫 (正式写手)
涂完抽个气

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7楼2019-07-11 18:34:41
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

紫外固化的么，曝光不完全会在紫外固化过程中继续反应产生氮气，出现气泡
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8楼2019-07-15 18:30:53
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