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MEMS_er

新虫 (初入文坛)

[求助] PI胶固化已有5人参与

PI胶固化后,老是起很多气泡,有人知道是什么原因吗,涂胶没有什么问题的

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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几种可能。
有可能是本身PI胶中有微泡,如果胶的粘度大,那么这种微泡存在的概率很大。
二是衬底本身不够干燥,但一般会导致直接脱落,以气泡形式存在的比较少见。也要看你的PI是亲水还是憎水的。
再就是旋涂工艺的问题,要看你用的什么设备和参数,有时候需要在低速摊开后稍微静置几十秒再高速转,能减少气泡。
还有,就是前面都非常顺利,只是最后固化的时候产生气泡,那就要考虑PI胶本身和衬底表面质量的问题了。
如果是研材微纳买的PI胶,可以直接找他们技术部门进行咨询。
3楼2019-07-02 13:29:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

一般来说,你的soft bake没有做好,溶剂挥发不充分,那么就意味着后面做高温固化的时候,未挥发的溶剂在PI内部形成气泡。
另外,PI是一种易吸潮的polymer,水汽在固化中的影响也要考虑。
PI的亚胺化过程还是要用烘箱,最好是真空烘箱。
9楼2019-07-16 15:05:21
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