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diamondli99木虫 (正式写手)
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【请教】溅射用i-ZnO、ZAO靶材的制备方法
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| 请教各位从事陶瓷材料研究的大侠,制备透明导电膜的i-ZnO、ZAO溅射靶材都有哪集中制备方法?一般对这种靶材都关注什么指标,如何检测?非常感谢! |
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icwafer
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2楼2009-05-19 10:22:49
diamondli99
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