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diamondli99

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】溅射用i-ZnO、ZAO靶材的制备方法

请教各位从事陶瓷材料研究的大侠,制备透明导电膜的i-ZnO、ZAO溅射靶材都有哪集中制备方法?一般对这种靶材都关注什么指标,如何检测?非常感谢!
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icwafer

金虫 (正式写手)

★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 5-19 12:46
i-zno用纳米zno粉体直接压片烧结即可。
ZAO可用Al2O3,ZnO粉体机械混合后压片烧结。有第二相。
水热法制备ZAO粉体烧结会好些。难
为人民币服务!
2楼2009-05-19 10:22:49
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diamondli99

木虫 (正式写手)

非常感谢!

感谢大侠的回复!就是不知道这种陶瓷靶材都关注哪几项指标?
3楼2009-05-21 08:33:15
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