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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【请教】溅射用i-ZnO、ZAO靶材的制备方法
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diamondli99

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】溅射用i-ZnO、ZAO靶材的制备方法

请教各位从事陶瓷材料研究的大侠，制备透明导电膜的i-ZnO、ZAO溅射靶材都有哪集中制备方法？一般对这种靶材都关注什么指标，如何检测？非常感谢！
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1楼 2009-05-19 09:01:09
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icwafer

金虫 (正式写手)
★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 5-19 12:46
i-zno用纳米zno粉体直接压片烧结即可。
ZAO可用Al2O3，ZnO粉体机械混合后压片烧结。有第二相。
水热法制备ZAO粉体烧结会好些。难
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为人民币服务！
2楼2009-05-19 10:22:49
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diamondli99

木虫 (正式写手)

非常感谢！

感谢大侠的回复！就是不知道这种陶瓷靶材都关注哪几项指标？
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3楼2009-05-21 08:33:15
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