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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束光刻的加工水平
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)

[交流] 电子束光刻的加工水平 已有10人参与

我想问一下，现在电子束光刻是否能在sio2片上够刻蚀出长100nm宽12nm高12纳米的金纳米棒，这种加工要求现在的技术能达的到吗？加工费用的话大概是多少

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1楼 2019-01-22 19:56:48
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gelivable

新虫 (小有名气)
★
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电子束刻蚀 非光刻。这种专业问题应该联系ebl工程师，尺寸按照仪器说明是没有问题，毕竟宣称可以写sub10nm，但实际情况还是要看工程师水平。另外5X5mm阵列估计悬，写速很慢的，不怕花钱也可以试试
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4楼2019-01-24 11:00:32
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
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没明白你意思，光刻作出图形长100nm宽12nm，刻蚀高12纳米的金纳米棒么？我估计悬
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2楼2019-01-23 17:18:44
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gyxzby at 2019-01-23 17:18:44
没明白你意思，光刻作出图形长100nm宽12nm，刻蚀高12纳米的金纳米棒么？我估计悬

对啊，然后按这个规格刻成阵列，大概要5*5 mm吧

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3楼2019-01-23 17:41:39
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gelivable at 2019-01-24 11:00:32
电子束刻蚀 非光刻。这种专业问题应该联系ebl工程师，尺寸按照仪器说明是没有问题，毕竟宣称可以写sub10nm，但实际情况还是要看工程师水平。另外5X5mm阵列估计悬，写速很慢的，不怕花钱也可以试试

明白了，所以在技术上来说是可行的，谢谢解答

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5楼2019-01-24 11:24:26
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暮鼓晨锺

木虫 (小有名气)
★
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顶级设备，保证束斑和镜筒状态完好，需要做多次剂量测试，然后5X5估计至少花个几万块钱吧
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6楼2019-01-25 16:59:15
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vinsonone

木虫 (正式写手)
★
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EBL肯定能做到, 我们实验室也可以, 就是5*5mm尺寸, 估计要写好几天吧
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7楼2019-01-30 13:56:38
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by vinsonone at 2019-01-30 13:56:38
EBL肯定能做到, 我们实验室也可以, 就是5*5mm尺寸, 估计要写好几天吧

哈哈，这就比较麻烦了，但是既然技术水平达的到，那就先做仿真设计吧，到时候再考虑加工的费用和时间

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8楼2019-01-31 10:03:44
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
★
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本帖内容被屏蔽
9楼2019-01-31 15:34:31
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百无二用

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
EBL没问题，我们就可以做，但是需要的时间比较久，如果你们有EBL可以考虑自己做，找人加工收费不会便宜的。你自己没法做也可以私聊我谈一下

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10楼2019-03-26 12:36:56
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