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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束光刻的加工水平
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
别想了，国内目前水平做不到的，偶尔能做出20nm以下水平的光刻，但是刻金又刻出出来。
别听楼上那些人瞎忽悠，别在这个方面浪费时间了。
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11楼2019-04-01 15:26:14
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
问题都描述不清楚，对加工可以说没什么概念

发自小木虫Android客户端
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12楼2019-04-07 21:50:45
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贾宝玉

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 哒哒哒。 at 2019-01-31 10:03:44
哈哈，这就比较麻烦了，但是既然技术水平达的到，那就先做仿真设计吧，到时候再考虑加工的费用和时间
...

现在加工好了么？求个靠谱加工机构
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13楼2019-11-21 12:02:58
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贾宝玉

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 百无二用 at 2019-03-26 12:36:56
EBL没问题，我们就可以做，但是需要的时间比较久，如果你们有EBL可以考虑自己做，找人加工收费不会便宜的。你自己没法做也可以私聊我谈一下

怎么联系呢，13015480795
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14楼2019-11-21 12:03:27
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babyoflion

金虫 (著名写手)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by 暮鼓晨锺 at 2019-01-25 16:59:15
顶级设备，保证束斑和镜筒状态完好，需要做多次剂量测试，然后5X5估计至少花个几万块钱吧

5*5mm 打底30万做下来
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15楼2019-11-21 12:16:33
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
哈哈 只能说目前实验室级别的刻蚀工艺额 而且还是硅 才10nm 你还要刻蚀金；另外 电子束直写出12nm的结构 出sem照片还可以 真要5*5mm 均匀性没有人敢给你保证
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16楼2019-11-21 12:18:50
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