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哒哒哒。

新虫 (正式写手)

[交流] 电子束光刻的加工水平 已有10人参与

我想问一下,现在电子束光刻是否能在sio2片上够刻蚀出长100nm宽12nm高12纳米的金纳米棒,这种加工要求现在的技术能达的到吗?加工费用的话大概是多少

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暮鼓晨锺

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
顶级设备,保证束斑和镜筒状态完好,需要做多次剂量测试,然后5X5估计至少花个几万块钱吧
6楼2019-01-25 16:59:15
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gyxzby

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没明白你意思,光刻作出图形长100nm宽12nm,刻蚀高12纳米的金纳米棒么?我估计悬
2楼2019-01-23 17:18:44
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gyxzby at 2019-01-23 17:18:44
没明白你意思,光刻作出图形长100nm宽12nm,刻蚀高12纳米的金纳米棒么?我估计悬

对啊,然后按这个规格刻成阵列,大概要5*5 mm吧

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3楼2019-01-23 17:41:39
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gelivable

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
电子束刻蚀 非光刻。这种专业问题应该联系ebl工程师,尺寸按照仪器说明是没有问题,毕竟宣称可以写sub10nm,但实际情况还是要看工程师水平。另外5X5mm阵列估计悬,写速很慢的,不怕花钱也可以试试
4楼2019-01-24 11:00:32
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