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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束光刻的加工水平
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)

[交流] 电子束光刻的加工水平 已有10人参与

我想问一下，现在电子束光刻是否能在sio2片上够刻蚀出长100nm宽12nm高12纳米的金纳米棒，这种加工要求现在的技术能达的到吗？加工费用的话大概是多少

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1楼 2019-01-22 19:56:48
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vinsonone

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
EBL肯定能做到, 我们实验室也可以, 就是5*5mm尺寸, 估计要写好几天吧
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7楼2019-01-30 13:56:38
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没明白你意思，光刻作出图形长100nm宽12nm，刻蚀高12纳米的金纳米棒么？我估计悬
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2楼2019-01-23 17:18:44
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哒哒哒。

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gyxzby at 2019-01-23 17:18:44
没明白你意思，光刻作出图形长100nm宽12nm，刻蚀高12纳米的金纳米棒么？我估计悬

对啊，然后按这个规格刻成阵列，大概要5*5 mm吧

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3楼2019-01-23 17:41:39
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gelivable

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
电子束刻蚀 非光刻。这种专业问题应该联系ebl工程师，尺寸按照仪器说明是没有问题，毕竟宣称可以写sub10nm，但实际情况还是要看工程师水平。另外5X5mm阵列估计悬，写速很慢的，不怕花钱也可以试试
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4楼2019-01-24 11:00:32
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