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czcdxmc木虫 (正式写手)
MEMS小学生
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[求助]
氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况 已有2人参与
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| SiN膜上光刻后做溅射工艺，溅射Ti或Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况，虫友门有遇到这种问题的吗？ |
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3楼2019-01-17 10:29:12
2楼2019-01-17 09:35:32
czcdxmc
木虫 (正式写手)
MEMS小学生
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 5212.9
- 散金: 70
- 红花: 8
- 帖子: 845
- 在线: 101.7小时
- 虫号: 2088420
- 注册: 2012-10-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2019-01-18 13:50:35
5楼2019-01-23 17:33:32
