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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

[求助] 氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况已有2人参与

SiN膜上光刻后做溅射工艺，溅射Ti或Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况，虫友门有遇到这种问题的吗？
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学海无涯，回头是岸。
1楼2019-01-16 22:04:42
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射温度高，可以降低沉积温度；轰击能量高，试着降低沉积功率；
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2019-01-17 10:29:12
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