24小时热门版块排行榜    

查看: 1500  |  回复: 5
【悬赏金币】回答本帖问题,作者czcdxmc将赠送您 100 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生

[求助] 氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况已有2人参与

SiN膜上光刻后做溅射工艺,溅射Ti或Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况,虫友门有遇到这种问题的吗?
回复此楼
学海无涯,回头是岸。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


溅射温度高所以起泡,正常不影响剥离

发自小木虫Android客户端
2楼2019-01-17 09:35:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 czcdxmc 的主题更新
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 博三一直没文章怎么办 +11 133456 2024-05-17 15/750 2024-05-18 01:34 by 133456
[教师之家] 来用亲身体会,一起说说年轻老师的辛苦 +15 zylfront 2024-05-17 19/950 2024-05-17 20:37 by tfang
[基金申请] 有知道工材e01情况的吗? +9 xiaopang8958 2024-05-17 12/600 2024-05-17 19:27 by 嗨皮一下
[基金申请] 基金委也是打工的 +18 wsjing 2024-05-16 19/950 2024-05-17 19:21 by 雪径踏青
[教师之家] 执念 +5 459582015 2024-05-16 6/300 2024-05-17 19:03 by 咖啡不要冰
[基金申请] 南林海归博士首聘期 没拿到国自然,被降级后自杀 +32 babu2015 2024-05-13 34/1700 2024-05-17 18:52 by 清晨和风一起
[论文投稿] 当前scientific reports还值得投稿么? +5 lizhengke06 2024-05-14 6/300 2024-05-17 18:28 by dxcharlary
[电化学] 常用的国产电化学工作站有哪些? +7 123明湘 2024-05-11 7/350 2024-05-17 13:40 by FuMmm
[硕博家园] 领养小孩 +15 Yyds55 2024-05-14 15/750 2024-05-17 09:53 by 田园1983
[基金申请] 这个教授的科研做得真好 +5 zju2000 2024-05-14 6/300 2024-05-17 09:33 by Xiaolin81
[教师之家] 青椒的未来在哪里? +14 sxhuabin 2024-05-15 14/700 2024-05-17 08:58 by Quakerbird
[基金申请] 系统导出申报书中参与人那一页的格式,跨入两页,要通过调整行间距调整到一页吗? +3 danisha 2024-05-15 5/250 2024-05-16 18:21 by danisha
[教师之家] 谁要做个人网站,可以交流啊! +10 hjc404 2024-05-14 27/1350 2024-05-16 13:39 by hjc404
[考博] 急求博导收留 +9 8139173 2024-05-15 10/500 2024-05-16 13:06 by 北京炸酱面
[分析] 液相色谱基线上移 5+3 江上鸢飞 2024-05-13 3/150 2024-05-16 11:49 by gwmgyp
[教师之家] 学生家长私下联系老师修改成绩不成,唆使19名学生联名要求复核成绩 +23 sjtu2012 2024-05-11 26/1300 2024-05-16 07:57 by zhangysbad
[基金申请] 青年拔尖出炉 +5 babu2015 2024-05-14 6/300 2024-05-15 21:27 by msjy
[硕博家园] 博导推荐,申博,博士招生 +5 大林挺好 2024-05-13 6/300 2024-05-15 14:51 by zxl_1105
[基金申请] F06送审了吗? +5 昂首走 2024-05-11 9/450 2024-05-15 06:53 by yp_nupt
[基金申请] 2024工材口的国自然开始涵评了吗? +3 Thanks1989 2024-05-13 3/150 2024-05-14 22:27 by weiyongscut
信息提示
请填处理意见