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Tonia0

铜虫 (小有名气)

[交流] SEM的EDS测试元素比例问题 已有6人参与

知道EDS是定性、半定量测试。

样品是生长在Si基板上的,元素A和Si可以生成硅化物。做了两个不同煅烧温度的样品。

测试两个样品,每个样品都取了两个测试点,其中第一个样中A元素含量是9%和2%,第二个样中A元素含量是24%和22%。能否说明第二个样中A元素的占比比第一个样多呢?

注:XRD两个样品都测了,生成化合物成分一致。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


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引用回帖:
9楼: Originally posted by Tonia0 at 2018-12-21 11:28:49
样品厚度是500nm左右,而且我不需要知道具体的百分比是多少。只想确定一个多,一个少,就ok。
我唯一不敢肯定的就是,用eds来判断24%和9%可以说前者此元素含量更多吗?...

500nm不够厚,大部分信号还是substrate的,个人不看好这个含量肯定哪个多哪个少,不说明任何信息
10楼2018-12-21 11:30:15
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Andydu77

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
从结果看,当然是第二个样品A元素多
2楼2018-12-21 09:50:06
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love19930205

木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
EDS只能定性说明吧,定量用其他的方法比较好

发自小木虫Android客户端
3楼2018-12-21 10:41:32
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Tonia0

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by love19930205 at 2018-12-21 11:41:32
EDS只能定性说明吧,定量用其他的方法比较好

我不太需要知道具体的百分比,只想知道哪个温度能生成更多我需要的化合物。只是我不确定这种程度的半定量结果能否说明这个问题。
4楼2018-12-21 10:44:26
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