24小时热门版块排行榜    

查看: 5381  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

Tonia0

铜虫 (小有名气)

[交流] SEM的EDS测试元素比例问题已有6人参与

知道EDS是定性、半定量测试。

样品是生长在Si基板上的,元素A和Si可以生成硅化物。做了两个不同煅烧温度的样品。

测试两个样品,每个样品都取了两个测试点,其中第一个样中A元素含量是9%和2%,第二个样中A元素含量是24%和22%。能否说明第二个样中A元素的占比比第一个样多呢?

注:XRD两个样品都测了,生成化合物成分一致。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tonia0

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-12-21 12:20:38
多厚,nm还是微米,太薄大部分信号都是Si基底的,怎么可能准确,扫描的半定量可以考虑WDS,另外可以考虑XRF,非要eds可以考虑透射的,没有基底影响会好一点...

样品厚度是500nm左右,而且我不需要知道具体的百分比是多少。只想确定一个多,一个少,就ok。
我唯一不敢肯定的就是,用eds来判断24%和9%可以说前者此元素含量更多吗?
9楼2018-12-21 11:28:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

Andydu77

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
从结果看,当然是第二个样品A元素多
2楼2018-12-21 09:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love19930205

木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
EDS只能定性说明吧,定量用其他的方法比较好

发自小木虫Android客户端
3楼2018-12-21 10:41:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tonia0

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by love19930205 at 2018-12-21 11:41:32
EDS只能定性说明吧,定量用其他的方法比较好

我不太需要知道具体的百分比,只想知道哪个温度能生成更多我需要的化合物。只是我不确定这种程度的半定量结果能否说明这个问题。
4楼2018-12-21 10:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见