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smartor

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于测多层膜调制周期的低角XRD

请问一下测试时的具体条件应该是怎么样?
是否theta-2theta联动,并且2theta<5度即可?
谢谢了
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smartor

木虫 (著名写手)

难道没人知道吗?我印象中这个应该用的人很多吧。
恳请大家帮忙,谢谢
2楼2009-05-11 10:50:57
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miloyy

木虫 (正式写手)

XRR还是一般的扫描模式?
3楼2009-05-11 19:56:33
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师

同样期待,顶一下啊
活着,就是向圣贤和傻瓜学习
4楼2009-05-12 10:36:09
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smartor

木虫 (著名写手)

不是XRR,就是一般的扫描模式,低角XRD测多层薄膜调制周期,难道这个用得很少吗?
另外XRR测的话,是不是对层数有要求?层数太多能不能测?
5楼2009-05-13 14:32:47
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coating8397

XRR对基体和薄膜的平整度要求很高。
6楼2009-05-13 15:36:35
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by smartor at 2009-5-13 14:32:
不是XRR,就是一般的扫描模式,低角XRD测多层薄膜调制周期,难道这个用得很少吗?
另外XRR测的话,是不是对层数有要求?层数太多能不能测?

有示例吗,其他paper上的
7楼2009-05-14 00:31:15
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smartor

木虫 (著名写手)

呵呵,这种文献太多了,不过大多没有测试细节
8楼2009-05-22 11:04:10
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