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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】关于测多层膜调制周期的低角XRD
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smartor

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】关于测多层膜调制周期的低角XRD

请问一下测试时的具体条件应该是怎么样？
是否theta-2theta联动，并且2theta<5度即可？
谢谢了
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1楼 2009-04-28 10:21:05
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smartor

木虫 (著名写手)
难道没人知道吗？我印象中这个应该用的人很多吧。
恳请大家帮忙，谢谢
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2楼2009-05-11 10:50:57
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miloyy

木虫 (正式写手)
XRR还是一般的扫描模式？
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3楼2009-05-11 19:56:33
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师
同样期待，顶一下啊
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活着，就是向圣贤和傻瓜学习
4楼2009-05-12 10:36:09
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smartor

木虫 (著名写手)
不是XRR，就是一般的扫描模式，低角XRD测多层薄膜调制周期，难道这个用得很少吗？
另外XRR测的话，是不是对层数有要求？层数太多能不能测？
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5楼2009-05-13 14:32:47
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coating8397

XRR对基体和薄膜的平整度要求很高。
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6楼2009-05-13 15:36:35
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miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by smartor at 2009-5-13 14:32:
不是XRR，就是一般的扫描模式，低角XRD测多层薄膜调制周期，难道这个用得很少吗？
另外XRR测的话，是不是对层数有要求？层数太多能不能测？

有示例吗，其他paper上的
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7楼2009-05-14 00:31:15
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smartor

木虫 (著名写手)
呵呵，这种文献太多了，不过大多没有测试细节
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8楼2009-05-22 11:04:10
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