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电子束蒸镀ZnO 已有2人参与
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用电子束蒸镀ZnO薄膜，靶材是1-3mm的氧化锌，衬底是SiO2，显示是有速率的，0.8A/s，薄膜参数是100，设置是200nm的厚度，靶材也上打出了洞，但是最后衬底上观察不到ZnO，台阶仪探针测没观察到分界面，在一个位置测量台阶90nm的台阶，但是换一个位置又测不出来了，有用电子束蒸发镀ZnO薄膜的吗 发自小木虫IOS客户端 |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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3楼2018-11-15 10:58:59
你猜我信不信
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2018-11-14 17:05:43
