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Luxvereth

新虫 (初入文坛)

[交流] 电子束蒸镀ZnO 已有2人参与

用电子束蒸镀ZnO薄膜，靶材是1-3mm的氧化锌，衬底是SiO2，显示是有速率的，0.8A/s，薄膜参数是100，设置是200nm的厚度，靶材也上打出了洞，但是最后衬底上观察不到ZnO，台阶仪探针测没观察到分界面，在一个位置测量台阶90nm的台阶，但是换一个位置又测不出来了，有用电子束蒸发镀ZnO薄膜的吗

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1楼 2018-11-14 14:29:52
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新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我sputtering过ZnO

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2楼2018-11-14 17:05:43
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萧然18

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
3楼2018-11-15 10:58:59
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