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Luxvereth

新虫 (初入文坛)

[交流] 电子束蒸镀ZnO 已有2人参与

用电子束蒸镀ZnO薄膜,靶材是1-3mm的氧化锌,衬底是SiO2,显示是有速率的,0.8A/s,薄膜参数是100,设置是200nm的厚度,靶材也上打出了洞,但是最后衬底上观察不到ZnO,台阶仪探针测没观察到分界面,在一个位置测量台阶90nm的台阶,但是换一个位置又测不出来了,有用电子束蒸发镀ZnO薄膜的吗

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新虫 (小有名气)


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我sputtering过ZnO

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2楼2018-11-14 17:05:43
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萧然18

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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3楼2018-11-15 10:58:59
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