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电子束蒸镀ZnO 已有2人参与
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用电子束蒸镀ZnO薄膜,靶材是1-3mm的氧化锌,衬底是SiO2,显示是有速率的,0.8A/s,薄膜参数是100,设置是200nm的厚度,靶材也上打出了洞,但是最后衬底上观察不到ZnO,台阶仪探针测没观察到分界面,在一个位置测量台阶90nm的台阶,但是换一个位置又测不出来了,有用电子束蒸发镀ZnO薄膜的吗 发自小木虫IOS客户端 |
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