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xxy2016

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射 已有9人参与

想请问下，磁控溅射靶材在下，基片在上是如何设置的呢？基片不会掉落吗？有做过的大神请给讲述下，十分感谢！
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1楼 2018-11-14 13:58:53
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
也可以导电双面胶粘上。

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新的奋斗天天开始
3楼2018-11-14 20:46:43
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xxy2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 18211710020 at 2018-11-15 15:42:26
这个问题，，，设备专门有基片台放置衬底的。

就是看到很多文献里，介绍到靶材和基台平行放置、基台在上，靶材在下等，因未见到仪器实物，一直比较迷茫
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10楼2018-11-16 08:12:21
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“昊璞”

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
磁控靶枪分为两种，一种是磁性靶枪，一种是非磁性，源也可以分为两种，磁性靶源直接可以贴在靶枪上，非磁性靶源可以铆紧

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13楼2018-12-21 09:34:45
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普通回帖

木子海南

银虫 (职业作家)
有架子固定的

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2楼2018-11-14 14:22:21
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理工小伟

木虫 (著名写手)
有基片夹

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精于勤 荒于嬉
4楼2018-11-15 07:35:47
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xxy2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 木子海南 at 2018-11-14 14:22:21
有架子固定的

好，谢谢
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5楼2018-11-15 08:13:42
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xxy2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 鲸鱼先生 at 2018-11-14 20:46:43
也可以导电双面胶粘上。

谢谢！
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6楼2018-11-15 08:13:57
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xxy2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 理工小伟 at 2018-11-15 07:35:47
有基片夹

感谢
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7楼2018-11-15 08:14:12
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有固定，用导电银胶等固定上
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8楼2018-11-15 14:42:05
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18211710020

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个问题，，，设备专门有基片台放置衬底的。

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9楼2018-11-15 15:42:26
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