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xxy2016

新虫 (小有名气)

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专业: 功能陶瓷

[交流] 磁控溅射已有9人参与

想请问下，磁控溅射靶材在下，基片在上是如何设置的呢？基片不会掉落吗？有做过的大神请给讲述下，十分感谢！

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1楼 2018-11-14 13:58:53

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18211710020

银虫 (正式写手)

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专业: 半导体物理

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

这个问题，，，设备专门有基片台放置衬底的。

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9楼2018-11-15 15:42:26

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木子海南

银虫 (职业作家)

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性别: GG
专业: 光学和光电子材料

有架子固定的

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2楼2018-11-14 14:22:21

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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

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专业: 金属功能材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

也可以导电双面胶粘上。

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新的奋斗天天开始

3楼2018-11-14 20:46:43

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理工小伟

木虫 (著名写手)

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性别: GG
专业: 半导体材料

有基片夹

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精于勤荒于嬉

4楼2018-11-15 07:35:47

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