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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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xxy2016

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射 已有9人参与

想请问下，磁控溅射靶材在下，基片在上是如何设置的呢？基片不会掉落吗？有做过的大神请给讲述下，十分感谢！
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1楼 2018-11-14 13:58:53
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“昊璞”

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
磁控靶枪分为两种，一种是磁性靶枪，一种是非磁性，源也可以分为两种，磁性靶源直接可以贴在靶枪上，非磁性靶源可以铆紧

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13楼2018-12-21 09:34:45
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木子海南

银虫 (职业作家)
有架子固定的

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2楼2018-11-14 14:22:21
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
也可以导电双面胶粘上。

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新的奋斗天天开始
3楼2018-11-14 20:46:43
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理工小伟

木虫 (著名写手)
有基片夹

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精于勤 荒于嬉
4楼2018-11-15 07:35:47
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