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xxy2016

新虫 (小有名气)

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[交流] 磁控溅射已有9人参与

想请问下，磁控溅射靶材在下，基片在上是如何设置的呢？基片不会掉落吗？有做过的大神请给讲述下，十分感谢！

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1楼 2018-11-14 13:58:53

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xxy2016

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

9楼: Originally posted by 18211710020 at 2018-11-15 15:42:26
这个问题，，，设备专门有基片台放置衬底的。

就是看到很多文献里，介绍到靶材和基台平行放置、基台在上，靶材在下等，因未见到仪器实物，一直比较迷茫

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10楼2018-11-16 08:12:21

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木子海南

银虫 (职业作家)

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有架子固定的

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2楼2018-11-14 14:22:21

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鲸鱼先生

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一条大鱼

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

也可以导电双面胶粘上。

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新的奋斗天天开始

3楼2018-11-14 20:46:43

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理工小伟

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有基片夹

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精于勤荒于嬉

4楼2018-11-15 07:35:47

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