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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗
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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗

如题，请教高人， TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗。 谢谢
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1楼 2009-04-15 19:22:57
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wore2627

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Sahnrain at 2009-6-29 09:57:
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。

想问一下溅射的时候用的是什么靶材？
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7楼2009-06-30 09:22:58
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英语拼音

银虫 (正式写手)
★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享~，欢迎常来 4-16 10:35
TiO2的熔点太高，一般很少有人用热蒸发的方法来做薄膜，也很少有人用电子束蒸发的方法，呵呵，使用Sputter或者旋涂的方法比较多，这方面的文献很多，
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2009-04-16 09:17:56
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COOLT

木虫 (著名写手)
电子束蒸发的方法倒是有人做，不过不是主流，楼上说的对。磁控溅射是比较好的方法！
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comeon！
3楼2009-04-16 09:32:25
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zwx1986

铜虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
ddx-k(金币+1,VIP+0):能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗？ 6-29 10:04
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的，有镀TiO2.蒸发速度很慢，温度太高的话又容易分解!
赞一下(11人) 回复此楼
4楼2009-06-24 16:15:11
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