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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗
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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗

如题，请教高人， TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗。 谢谢
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1楼 2009-04-15 19:22:57
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银虫 (正式写手)
★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享~，欢迎常来 4-16 10:35
TiO2的熔点太高，一般很少有人用热蒸发的方法来做薄膜，也很少有人用电子束蒸发的方法，呵呵，使用Sputter或者旋涂的方法比较多，这方面的文献很多，
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2楼2009-04-16 09:17:56
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COOLT

木虫 (著名写手)
电子束蒸发的方法倒是有人做，不过不是主流，楼上说的对。磁控溅射是比较好的方法！
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comeon！
3楼2009-04-16 09:32:25
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zwx1986

铜虫 (初入文坛)
★ ★
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ddx-k(金币+1,VIP+0):能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗？ 6-29 10:04
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的，有镀TiO2.蒸发速度很慢，温度太高的话又容易分解!
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4楼2009-06-24 16:15:11
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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。
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5楼2009-06-29 09:57:53
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★
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引用回帖:
Originally posted by zwx1986 at 2009-6-24 16:15:
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的，有镀TiO2.蒸发速度很慢，温度太高的话又容易分解!

能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗？
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6楼2009-06-29 10:03:45
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wore2627

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Sahnrain at 2009-6-29 09:57:
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。

想问一下溅射的时候用的是什么靶材？
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7楼2009-06-30 09:22:58
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fengyun6658

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用钛靶材然后马弗炉中氧化就可以了。
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8楼2009-06-30 11:59:20
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farawaygoing

木虫 (著名写手)

木虫之虫
热蒸镀当然可以，现在做TiO2膜的方法已经很成熟了,取决于你的具体要求。
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9楼2009-06-30 14:40:46
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